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半导体设备真空腔体密封面解决方案

摘要之前，我们分别介绍了牧野Smart Tool的Super Hale 和 Synchro Spinner加工功能在半导体设备真空腔体密封面的加工中的应用。

　　【机床商务网栏目科技动态】之前，我们分别介绍了牧野Smart Tool的Super Hale 和 Synchro Spinner加工功能在半导体设备真空腔体密封面的加工中的应用。

　　本期我们介绍其中的另一项黑科技：

　　Belt Track Finisher (带式磨削) 加工装置。

　　Belt Track Finisher (带式磨削)加工装置是实现超真空面密封无研磨加工的另一项场景应用，是加工中心直接将真空装置的密封面加工成高品质量，实现其表面实现超高真空密封效果的可行性方案之一。

　　Belt Track Finisher (带式磨削)加工装置：

　　传统的加工方式，由于刀具旋转会产生从内侧到外侧的切削痕迹。

　　真空密封面中氦气沿着切削痕迹泄漏，无法维持真空。

　　为了保持高真空状态，必须进行研磨作业。

　　带式磨削精加工装置，研磨纹理可以跟工具前进方向平行运动，没有从内侧到外侧的切削痕迹，因此真空面没有泄露。

　　加工特点

　　・沿工具前进方向平行的研磨纹理

　　・没有真空泄露方向的切削痕迹

　　关键技术

　　・新开发的接触轮，提高研磨效率

　　・带式磨削工艺，不留切削痕迹

　　・更换砂带简单，自动调整张力

　　・无需气管、电线。可使用 ATC，实现连续加工

　　・选择不同的砂带宽度和颗粒度，可以加工多种材料

　　加工案例

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